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直流负压溅射和直流溅射  在直流溅射中,带正电的离子被吸引到接地的、带负电的溅射靶上,从靶材上溅射出原子,然后这些原子在样品(也称为衬底)上沉积形成薄膜。通常情况下,溅射靶被接到正极,而样品端(衬底)被接到负极或接地。   然而,有些情况下(如反溅射或偏压溅射),样品端会被接到正极以吸引多余的离子,从而实现清洁衬底表面或形成离子轰击确保薄膜和基底的结合强度。这种电源连接方式可以提高薄膜的层内...
等离子清洗实验摘要:研究了等离子清洗对STO瓷片表面及其电容器电学性能的影响。结果表明等离子清洗能大幅改善样品表面清洁度,并对其绝缘电阻和电容值分别有36%和8%的提升。一、等离子清洗二、实验结果三、结论二、实验结果三、结论  研究了等离子清洗对STO绝缘化瓷片表面的影响,并进一步研究了对瓷片电容器(1mm * 1mm)电学性能的影响。结果表明经等离子清洗, STO样品(III-163-16...
塞贝克系数(Seebeck Coefficient)也称为热电偶效应或Seebeck效应,是指两种不同导体(或半导体)材料在一定温差下产生热电动势的现象。塞贝克系数是研究热电材料(将热能转化为电能的材料)非常重要的一个参数,它用来衡量材料在一定温差下产生的热电压。 塞贝克系数的测量方法有很多种,其中一种常用的方法是恒流法。首先准备一个热电偶,它由两种不同材料的导线组成。然后将热电偶的其中一个...
一、磁控溅射原理磁控溅射是一种常用的物理气相沉积(PVD)的方法,具有沉积温度低、沉积速度快、所沉积的薄膜均匀性好,成分接近靶材成分等众多优点。传统的溅射技术的工作原理是:在高真空的条件下,入射离子(Ar+)在电场的作用下轰击靶材,使得靶材表面的中性原子或分子获得足够动能脱离靶材表面,沉积在基片表面形成薄膜。但是,电子会受到电场和磁场的作用,产生漂移,因而导致传溅射效率低,电子轰击路径短也会...
问:1.质量流量控制器,为什么以SCCM和SLM为单位?答:从测量原理讲,热式质量流量计是通过利用气体的比热与密度,采用毛细管温差量热法进行测量,流量控制器测量的就是质量流量,但显示出的数值是通用的标况(101325 Pa; 0℃)体积流量。由于一般气体的密度都指标况下的密度,因此直接用体积乘以密度就可以得到所通过气体的质量。SCCM 与 SLM 为体积流量的行业标准单位,代表标况下的体积流...
空气是指地球大气层中的气体混合,因此空气属于混合物,它主要由氮气、氧气、稀有气体(氦、氖、氩、氪、氙、氡),二氧化碳以及其他物质(如水蒸气、杂质等)组合而成。我们的生活离不开气体,工业生产同样离不开气体,工业气体是整个工业的基础,广泛用于冶金、石化、化工、有色金属、电子、新材料、光伏、能源、航空航天、废水处理、医疗医药等诸多领域。 工业气体的用途十分广泛,在工业生产、国防科技和人民生活各个...
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