D07-23F 气体质量流量控制器 快响应型 大流量型 管状分流，不易堵塞 自动关闭功能。当流量≤2%F.S.时，自动关闭 它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括； 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入； 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07-23F 气体质量流量控制器
产品型号：D07-23F
产品系列：D07系列模拟质量流量控制器
产品类型：快响应型
★大流量型
★管状分流，不易堵塞
★自动关闭功能。当流量≤2%F.S.时，自动关闭
产品型号 | D07-23F |
产品类型 | 快响应型 |
流量量程 | 20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm |
产品精度 | ±1.5％F.S. |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±1％F.S. |
响应时间 | ≤3sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
输入输出信号 | (1~5)VDC,(4~20)mA |
电源 | 24V |
阀类型 | - 无 - |
温度系数 | Span: ≤±0.2% F.S./℃,Zero: ≤±0.1% F.S./℃ |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Male |
工作压差范围 | (0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm）,(0.10～0.30) MPa（50slm m≤F.S.≤150slm）,(0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm） |
漏率 | - 无 - |
标准接头形式 | VCR1/2”,双卡套1/2”,双卡套1/4”(满量程≤60slm),双卡套Φ12,双卡套Φ6(满量程≤60slm),双卡套Φ8(满量程≤200slm),双卡套Φ10,双卡套3/8” |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | - 无 - |
重量 | 2.6Kg |
注意：质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为:
SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子MFC/MFM金沙js3777入口检测，单位SCCM和“mL/min, 0℃,1atm”等同，单位SLM和“L/min, 0℃,1atm”等同。
F.S. (Full Scale): 满量程值
