PECVD 射频模块

型号

KT-PE150S

KT-PE500ZX

信号频率

                 13.56MHz±0.005%

功率输出范围

0-150W

0-500W

功率稳定度

                      ≤5W

最大反射功率

                      40W

射频输出接口

                   7/16,female 50 Ω

功率稳定度

                          ≤5W

匹配方式

手动调节匹配

500W自动匹配

耦合方式

                       电感式耦合

辉光压力

                          ≤30Pa

供电电压

                      50/60Hz 220v±10%

整机效率

                           ≥70%

冷却方式

                           强制风冷

支持炉管直径

φ25-φ80

φ25-φ150

感应区

                               210mm

整机重量

                             48KG

整机尺寸:H x W x D(mm)

600 x 600x 1100