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小型蒸镀仪

所属分类:材料样品处理
产品型号:KT-Z1650CVD
咨询热线:0371-60308298
产品简介:小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
产品详情

KT-Z1650CVD是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。

   通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

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设备名称

小型蒸镀仪

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流热蒸发电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1500W

输出电压电流

电压≤12V   电流≤100A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62 (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

蒸发坩埚容积

70-140mm

蒸发温度调节

3ml

蒸发温度调节

≤1600℃

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口


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